等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)是一種適用于低壓環(huán)境下最復雜涂布工藝的機器人驅(qū)動多腔室系統(tǒng)，是集成等離子的清洗與聚合系統(tǒng)。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

產(chǎn)品型號：Cluster system
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-07-02
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產(chǎn)品詳情

等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)是一種適用于低壓環(huán)境下最復雜涂布工藝的機器人驅(qū)動多腔室系統(tǒng)，是集成等離子的清洗與聚合系統(tǒng)。該廣泛應用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢：
1、在真空腔體中集成等離子源
2、兼容超凈間的系統(tǒng)設(shè)計
3、經(jīng)過驗證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
4、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā)，到全面的耗材、備件供應以及長期的技術(shù)支持服務

等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)Cluster System

尺寸	L:2000mm W:1800mm H:2000mm
重量	320kg
腔體容量	50L
3個工藝腔體	VA L:300 W:300 H:300
等離子源	2.45 GHz, 1200 W 13.56 MHz, 600 W
氣路	3*3路氣體通道（內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)）
其他	氣閘機械臂，如用于氣閘的樣品臺
樣品臺	可定制化鋁制樣品臺
真空連接	DIN 63 ISO-KF
排氣	電磁式排氣閥
3個真空泵系統(tǒng)	抽速40m3/h
腔室門	用于維護檢修

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型。同時，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。

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