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您的位置:首頁  -  產品中心  -  刻蝕系統  -  RIE反應離子刻蝕系統  -  NRE-4000(A)全自動反應離子刻蝕

NRE-4000(A)全自動反應離子刻蝕

NRE-4000(A)全自動反應離子刻蝕:獨立式RIE反應離子刻蝕系統,淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持Z大到12"的晶圓片。腔體為超凈設計,并且根據配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統系統可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-04-28
  • 訪  問  量:1795
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產品詳情

反應離子刻蝕

NRE-4000(A)全自動反應離子刻蝕概述:

NRE-4000是一款獨立式RIE反應離子刻蝕系統,配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持至大到12”的晶圓片。腔體為超凈設計,并且根據配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統系統可以在20mTorr8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網過濾器,以及一個10cfm的機械泵(Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調諧器提供。系統將持續監控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關重要。

該系統是基于PC控制的全自動系統.系統真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數字形式實時顯示.系統提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執行程序模式(操作模式)運行系統。基于全自動的控制,該系統具有高度的可重復性。

NRE-4000(A)全自動反應離子刻蝕產品特點:

  • 鋁質腔體或不銹鋼腔體
  • 不銹鋼立柜
  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
  • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min
  • 高達12”的陽極氧化鋁RF樣品臺
  • 水冷及加熱的RF樣品臺
  • 大自偏壓
  • 淋浴頭氣流分布
  • 極限真空5x10-7Torr20分鐘內可以達到10-6Torr級別
  • 渦輪分子泵
  • 至多支持8MFC
  • 無繞曲氣體管路
  • 自動下游壓力控制
  • 雙刻蝕能力支持:RIE以及PE刻蝕(可選)
  • 終點監測
  • 氣動升降頂蓋
  • 自動上下載片
  • 預真空鎖
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護
  • *的安全聯鎖
  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕

Features:

  • Aluminum or Stainless Steel Chamber
  • Stainless Steel Cabinet
  • Capable of etching Si compounds (~400 ? /min)and metals
  • Typical Si etch rate, 400 ?/min
  • Up to 12“ Anodized RF Platen
  • Water Cooled and Heated RF Platen
  • Large Self Bias
  • Shower Head gas distribution
  • Approximay 10-6 Torr < 20 minutes, ~ 5 x10-7 Torr base pressure
  • Turbomolecular Pump
  • Up to eight MFCs
  • No flexing of gas lines
  • Down Stream Pressure Control
  • Dual Etch capability: RIE and Plasma Etch(Option)
  • End Point Detection
  • Pneumatically Lifted Top
  • Automatic loading/unloading
  • Load Lock
  • PC Controlled with LabVIEW
  • Recipe Driven, Password Protected
  • ully Safety Interlocked 
  • Optional ICP source and cryogenic cooling of the platen for deep Si etch
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