設備使用一個星期后（三班），因鍍料除鍍在工件表面外，亦因無定向性而工作室內的襯板上鍍料，并越鍍越厚，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設備抽氣越來越慢。此時，應對工作室及襯板進行清洗，如不必要拆落來的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在水溶液里，水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。
注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。
因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。
光學鍍膜系統的保養：
（一）定期更換擴散泵油
擴散泵油使用一段時間，約二個月（兩班），因在長期高溫環境，雖然較高真空時才啟動擴散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應，擴散泵油在高溫下也可能產生裂解，使其品質下降，而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時，應予更換。
（二）真空泵
機械泵油、維持泵油在使用二個月，油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設備，在使用頭半個月即應更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會加劇磨損。
（三）清潔衛生
定期將設備及其周圍環境衛生搞好，常保持設備內外清潔，將設備周圍環境整理有條，有一個好的工作環境，以保安全。
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更新時間：2021-04-15 
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